當(dāng)前位置：超高純特氣多數(shù)具有易燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕等特性，對(duì)這類氣體實(shí)驗(yàn)室氣體管道安裝施工會(huì)更為注重密封性，因此多數(shù)實(shí)驗(yàn)室都會(huì)采用雙層管道工藝，超高純特氣一般都是高科技工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用的，比如精密半導(dǎo)體電子元器件，比如新能源光電產(chǎn)品制造等，高純度的SiH4、PH3、B2H6、WF6、NH3等都是，這些純度高的、重要、危險(xiǎn)的氣體在實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，需要注意對(duì)輸送管道的安裝。
超高純特氣實(shí)驗(yàn)室氣體管道安裝施工中，對(duì)整體的作業(yè)環(huán)境潔凈度、管道內(nèi)外管材的潔凈度、焊接和安裝質(zhì)量的要求都非常高，為了保證安全性、避免氣體泄露會(huì)采用雙套管工藝，首先在管材的選擇要求上，對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.0×10-6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管，一般我們說到高純度氣體會(huì)先考慮到氣體自身的“三度”，氣體純度、干燥度、潔凈度，而輸送氣體的管道必須要保證通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)過程中的純度，所以管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇。
其次對(duì)于實(shí)驗(yàn)室超高純特氣氣體管道安裝過程中，安裝現(xiàn)場(chǎng)先要保證潔凈，否則空氣污染物可能會(huì)存留在管道中導(dǎo)致氣體受污染，對(duì)于實(shí)驗(yàn)室氣體管道自身，加工中要注意在潔凈環(huán)境內(nèi)進(jìn)行，同時(shí)管道完整性要好，無破損。管道系統(tǒng)的管材和配件以及實(shí)驗(yàn)設(shè)備相連接要采用采用金屬墊片面密封接頭，金屬墊片采用柔性鎳合金墊片，確保密封性，管道焊接禁止采用卡套、手工焊等連接方式，安裝完成后注意安全偵測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，對(duì)于氣體泄露、環(huán)境偵測(cè)、煙感、火焰、震動(dòng)等會(huì)發(fā)出警報(bào)。
