當前位置：一、超高純供氣系統(tǒng)施工的選型與設計。
除簡易供氣體系外，特氣房一樣平常自力于主房之外單獨建造，在規(guī)劃中應考慮建筑物的防火、防爆、防火和防爆間距，并對傷害物進行總量控制。傳統(tǒng)的供氣體系一樣平常也都是在一個氣體室內(nèi)設置多個氣瓶柜；而對于大容量的特別氣體，會根據(jù)氣體的性子和相容性將氣體房分為可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷房、毒性氣體房等。超高純供氣體系施工房間必須透風優(yōu)秀，超高純供氣體系施工房間的選擇和設計通常由設計院來完成。
二、管路體系設計
1.管路體系設計選材
特種氣體管道體系一樣平常采用316L不銹鋼電解拋光管，閥門一樣平常采用高純調(diào)壓閥，隔膜閥，高細密過濾器，(<0.003微米),VCR接優(yōu)等。管道元件與氣體接觸時，外觀粗糙度可控制在5uin以內(nèi)。對CL2等一些腐蝕性強的氣體，可采用經(jīng)特別處理的耐腐蝕強電鍍管道。
2.設計了主管路體系；
當確定了好的超高純供氣體系氣體房間和用氣點后，監(jiān)控體系一樣平常都遵循管線短、彎道少、布置簡潔合理、給人簡約美觀的感覺。輸送機的數(shù)量和管徑的大小一樣平常是由機臺用氣點和流量大小決定的，基本上都是采用小管徑輸送機(1/4-3/4)，而且備用體系設計較多。鑒于自然氣自己的傷害性，許多地方都采用在電纜橋架上鋪設管道，對于穿墻或穿夾道的地方、四周有傷害源的地方和經(jīng)常進行傷害作業(yè)的地方，露天管道一樣平常都設置在全封閉的橋架上。
假如是低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等)，則必要考慮氣缸加熱，氣缸面板加熱，管路伴熱等。氣源端一樣平常都會考慮配置高精度壓力變送器、電子秤、溫度控制器等，以控制流量。機器臺氣點上也均配有質(zhì)量流量計、調(diào)壓閥。對高毒性、高反應及自燃氣體，應采用雙管輸送。與此同時，管路的設計應采用零死區(qū)設計，即整個管路體系由氣柜到VMB，由VMB到用氣點，點對點，中心不許可有死氣死角。如許，VMB在整個管道體系內(nèi)完成氣體分配，中心無三通。終管路還必要好的接地。
3.設計輔助體系。
氣箱或控制板在安裝和運輸過程中替換閥門、接頭、過濾器等，或出于其他緣故原由，必要重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也必要用到高壓氮或氦氣，因此特氣箱必要超高純供氣體系設計為與高壓惰性氣體氦氣或氦氣相連。通常選擇在特別房間中設置一個或多個惰性氣體柜。它的連接情勢是：
專用氣柜內(nèi)設有各種氣體驅(qū)動閥，主管路在送氣前必須進行管道吹掃及空氣置換，因此還需配套高純氮氣及潔凈壓縮空氣體系。該體系可以使用SUS316L-EP管，CDA可以使用SUS316L-BA管，其直徑是根據(jù)氣柜大小計算出來的。
煤氣房和煤氣柜也需配備主動噴淋體系，但有些氣體如三氟化氯、硅烷遇水反應等，此時也需考慮使用二氧化碳滅火體系。
透風體系和排氣體系也是超高純供氣體系施工的緊張組成部分。它的排放體系還按傷害物質(zhì)的性子分為通俗排放體系(GEX)、酸性排放體系(SEX)、溶劑排放體系(VEX)和氨排放體系(AEX)。鍍鋅鐵皮風管用于通俗排風體系，玻璃鋼風管用于酸性排風體系，而溶劑和氨氣排風體系一樣平常采用不銹鋼風管。風箱的排風也根據(jù)其特征與上述不同的排風體系相連。特氣放空是指煤氣專用管道和儲氣柜內(nèi)的煤氣，經(jīng)氮氣稀釋后，由放空管道排入大氣或排出體系中，有些劇毒氣體或有害氣體則排入尾氣處理裝配，經(jīng)處理后排入響應的排出體系中。放風體系一樣平常采用SUS304不銹鋼管，縱貫屋頂，高度約2米，并設置了防雨罩。
三、GMS體系及GDS體系。
氣量監(jiān)測體系(GMS)通過計算機網(wǎng)絡，實現(xiàn)了對氣量輸送體系的實時監(jiān)測，保證了體系穩(wěn)固運行。
氣敏探測體系(GDS)是工廠生活安全體系(LSS)的緊張組成部分。對探測器要求除精度高、相應快外，還應具有自檢測功能。對這兩個體系，這里只能簡單介紹一下概念。
充分了解氣體的特征，從而合理地配置體系，合理地選擇管徑和管材，如許可以大大地降低整個體系的成本。
